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超精密微结构机床DJM-100EL用于脆硬性材料的超精密磨削,可磨削光学镜片、模压用钨钢模具、光学玻璃模具等。

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产品介绍

DJM-100EL超精密微结构机床
 

用途概要

  用于脆硬性材料的超精密磨削,可磨削光学镜片、模压用钨钢模具、光学玻璃模具等
  X、Z轴采用高刚性的双V硬轨设计,具有超高的刚性及运动重复精度。
  可加工工件口径100mm,表面粗糙度Ra<10nm,面形精度PV<0.3μm。
  可加工柱面、球面、锥面、微阵列等。
  可加工:单晶硅、钨钢、陶瓷、光学玻璃、石英玻璃等材料。
  (选配车刀架后可车削加工铜、铝、单晶锗、硒化锌、单晶硅、硫系玻璃、氟化物、树脂等。)




设备配置
  • 超精密气体静压主轴(工件轴)

  • 高刚性双V硬轨(X、Z轴)

  • 高刚性双V硬轨(Y轴)

  • 高转速气浮磨削轴(砂轮轴)、可选配刀架

  • PMAC可编程控制器

  • 配置两套光学监控CCD

  • 自水平气浮隔振系统

  • 压缩空气处理系统   


加工示例






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