在线咨询
ONLINE
产品介绍
用途概要
用于脆硬性材料的超精密磨削,可磨削光学镜片、模压用钨钢模具、光学玻璃模具等
X、Z轴采用高刚性的双V硬轨设计,具有超高的刚性及运动重复精度。
可加工工件口径100mm,表面粗糙度Ra<10nm,面形精度PV<0.3μm。
可加工柱面、球面、锥面、微阵列等。
可加工:单晶硅、钨钢、陶瓷、光学玻璃、石英玻璃等材料。
(选配车刀架后可车削加工铜、铝、单晶锗、硒化锌、单晶硅、硫系玻璃、氟化物、树脂等。)
设备配置
-
超精密气体静压主轴(工件轴)
-
高刚性双V硬轨(X、Z轴)
-
高刚性双V硬轨(Y轴)
-
高转速气浮磨削轴(砂轮轴)、可选配刀架
-
PMAC可编程控制器
-
配置两套光学监控CCD
-
自水平气浮隔振系统
-
压缩空气处理系统
加工示例
产品技术指标