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产品介绍
用途概要
用于200mm/300mm口径元件的半超精密加工。此设备配置有超精密单点车的同型号主轴和刀架,加工的零件表面粗糙度Ra<15nm,面型精度PV<2μm。
可加工红外镜片、硒化锌球罩、精密零件等。
可加工平面、球面、非球面等元件。
可加工材料包括铜、铝、锗、硒化锌、单晶硅、硫系玻璃、氟化物、树脂等。

设备配置
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超精密气体静压主轴
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天然花岗岩基座
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THK精密滚珠丝杠和导轨(X、Z轴)
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两套精密微调刀架
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FANUC数控系统
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压缩空气处理系统
加工示例
产品技术指标