北京海普瑞森超精密技术有限公司

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超精密光学加工设备——超精密棱镜铣床LJX-100A

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超精密光学加工设备——超精密棱镜铣床LJX-100A

用于激光扫描镜加工的专用设备,可加工面个数:3、4、5、6、10、12、15、20等6度倍数面。各光学平面度≤0 2μm;光学面角度差30″以内;表面粗糙度Ra≤2nm。

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产品介绍

LJX-100A超精密棱镜铣床

用途概要

  用于激光扫描镜加工的专用设备,可加工面个数:3、4、5、6、10、12、15、20等6度倍数面。各光学平面度≤0.2μm;光学面角度差30″以内;表面粗糙度Ra≤2nm。



设备配置
  • 超精密气体静压主轴,主轴采用内装式电机

  • 分度主轴为伺服电机带高精度多齿分度盘分度夹紧

  • X轴采用液体静压导轨,精密滚珠丝杠加伺服电机驱动

  • Z轴采用精密滚柱导轨,精密滚珠丝杠加伺服电机驱动

  • 自水平气浮隔振系统

  • 压缩空气处理系统

  • 日本FANUC

  • 恒压伺服液压系统


加工示例



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