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产品介绍
用途概要
用于激光扫描镜加工的专用设备,可加工面个数:3、4、5、6、10、12、15、20等6度倍数面。各光学平面度≤0.2μm;光学面角度差30″以内;表面粗糙度Ra≤2nm。
设备配置
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超精密气体静压主轴,主轴采用内装式电机
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分度主轴为伺服电机带高精度多齿分度盘分度夹紧
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X轴采用液体静压导轨,精密滚珠丝杠加伺服电机驱动
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Z轴采用精密滚柱导轨,精密滚珠丝杠加伺服电机驱动
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自水平气浮隔振系统
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压缩空气处理系统
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日本FANUC
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恒压伺服液压系统
加工示例
产品技术指标