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工件介绍
加工元件表面粗糙度可达纳米级,口径最大可达到350mm,加工工件表面粗糙度Ra<3nm,面形精度PV值<0.3μm。可加工各种高精度平面、球面、非球面及离轴元件和自由曲面元件。可加工铜、铝、单晶锗、硒化锌、树脂、PMMA等材料。在三轴联动模式下还可加工离轴元件、柱面、子午面等非回转对称元件和自由曲面,配以特殊刀具可以实现微结构元件的加工,如各种衍射元件和菲涅尔透镜等。