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产品介绍
可加工工件口径250mm，表面粗糙度Ra<2nm，面形精度PV<0.2μm。
可加工平面、球面、锥面、非球面、离轴面、自由曲面、衍射面、模仁D-CUT等。
可选配B轴，实现360°分度功能，用于加工多棱反射镜。
可加工材料包括铜、铝、单晶锗、硒化锌、单晶硅、硫系玻璃、氟化物、树脂、人工晶状体、PMMA等。
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超精密气体静压主轴，标配C轴功能
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主轴采用内装式电机+高精度编码器
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X/Z轴均采用液体静压导轨，直线电机驱动，全闭环控制
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PMAC可编程控制器
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真空度可切换吸盘
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精密微调刀架
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在线动平衡调整系统
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自水平气浮隔振系统
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压缩空气处理系统
恒压伺服液压系统
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基础配置 |
超精密气体静压主轴，超精密液体静压导轨，“T”型布局 |
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振动隔离 |
自调节气浮垫铁 |
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控制系统 |
PMAC可编程控制器 |
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加工软件 |
超精密数控车床加工软件[简称：SPDT2DTools] |
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编程分辨率 |
直线运动0.1nm，回转运动0.000001° |
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性能指标 |
表面粗糙度Ra<3nm，面形精度PV<0.2μm |
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线性轴 |
X轴（垂直于主轴） |
Z轴（沿主轴） |
快刀 |
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类型 |
液体静压导轨、全闭环控制 |
液体静压导轨、全闭环控制 |
行程：±1mm |
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最大行程： |
350mm |
150mm |
最大加工速度：30G |
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驱动方式 |
直线电机 |
直线电机 |
最高工作频率：400Hz |
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光栅分辨率 |
31.25pm |
31.25pm |
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直线度： |
0.1μm/50mm |
0.1μm/50mm |
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最大进给速度： |
20mm/s |
20mm/s |
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旋转轴 |
主轴（工件轴） |
C轴 |
磨头 |
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转速 |
0-10000rpm |
0-1000rpm |
气动磨头 |
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旋转精度 |
≤20nm |
转角定位精度5”,重复定位精度2” |
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基础条件 |
压缩空气要求 |
供电要求 |
占地空间 |
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温度控制：22±1℃ |
供气压力：0.6MPa |
380V，三相五线制，50Hz 额定功率: 8Kw |
长宽高：2100*1200*1900mm 重量：2T |
