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产品介绍

可加工工件口径250mm,表面粗糙度Ra<2nm,面形精度PV<0.2μm。
可加工平面、球面、锥面、非球面、离轴面、自由曲面、衍射面、模仁D-CUT等。
可选配B轴,实现360°分度功能,用于加工多棱反射镜。
可加工材料包括铜、铝、单晶锗、硒化锌、单晶硅、硫系玻璃、氟化物、树脂、人工晶状体、PMMA等。
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超精密气体静压主轴,标配C轴功能
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主轴采用内装式电机+高精度编码器
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X/Z轴均采用液体静压导轨,直线电机驱动,全闭环控制
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PMAC可编程控制器
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真空度可切换吸盘
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精密微调刀架
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在线动平衡调整系统
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自水平气浮隔振系统
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压缩空气处理系统
恒压伺服液压系统