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产品介绍
可加工工件口径100mm，表面粗糙度Ra<10nm，面形精度PV<0.15μm。
可磨削材料包括：钨钢、光学玻璃、石英玻璃、陶瓷等。
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超精密气体静压主轴（工件轴）
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超精密静压转台（B轴）
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超精密液体静压导轨（X、Z轴）
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高转速气浮磨削轴（砂轮轴）
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X/Z轴均采用直线电机驱动，全闭环控制
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PMAC可编程控制器
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配置两套光学监控CCD
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在线动平衡调整系统
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自水平气浮隔振系统
设备参数
应用领域
用于脆硬性材料的超精密磨削
