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产品介绍
——产品特点
本产品可用于检测平面、球面、非球面、自由曲面等各种型面的光学零部件,是各类光学元器件检测的必备设备。检测口径可达200mm,矢高10mm,测量精度达1μm。
机床可选配我公司自主研发的测量软件,借助全自动测量程序,实现全自动的分析与输出显示。
——主要配置
1、花岗石底座,滑动横梁,滑动立柱,平移台。
2、气浮转轴测头(专有技术)。
3、测量臂可快速更换,测量力可微调。
——技术参数
调整台
1、平移台直径 200 mm
2、平移台行程 100 mm
Y轴(滑动立柱)
1、行程 360 mm
2、运动直线度 5 µm
X轴(滑动横梁)
1、行程 200 mm
2、直线度 2 µm/200 mm
气浮测头(测量臂长55mm)
1、测量精度 1 µm
2、测量矢高(最大) 10mm
——使用环境要求
1、设备使用温度:20±2℃。一天内温度梯度小于3℃。
2、湿度:<65%。
3、空气压力:≥0.6MPa。
4、空气过滤精度:0.01um。除油、除水。
5、空气流量: ≥0.1m³/min。